顯微鏡物鏡掃描臺：上海昊量推出的物鏡掃描臺采用壓電陶瓷直推，以柔性鉸鏈為導向使物鏡掃描臺具有結構緊湊、體積小、無機械摩擦、定位分辨率高等優點，采用硅位移傳感器，物鏡掃描臺相比于傳統的電容式位移傳感器，物鏡掃描臺硅傳感器使平移臺擁有更高的精度和線性度以及較低的底噪。物鏡掃描臺的精度可以達到亞納米，底噪低至10pm。

超小型亞微米AF自動聚焦模塊是集成了微型壓電馬達、內置控制器、位移傳感器和微處理器于一體的微機械模塊。